洁净室设备常识
洁净室设备常识
01
认识传递窗
传递窗是与洁净厂房配合使用的空气净化设备,适用于洁净室与洁净室之间或洁净室与非洁净室之间的中、小型货物传递。通过使用传递窗,可减少洁净室的开关门次数,将洁净区的污染降到低程度。产品广泛应用于微细科技、电子工业、生物实验室、制药厂、医院、食品加工业等空气净化场所。
传递窗采用不锈钢板制作,平整光洁。双门互为连锁,有效阻止交叉污染,设有电子或机械连锁装置,并配置紫外线杀菌灯。
02
传递窗分类
(一)按用途分为:标准型传递窗和洁净型传递窗(带空气自净装置)两种。
(二)按门互锁形式分为:机械互锁和电子互锁两种。
(三)外壳按材料分为:钢板烤漆和全不锈钢型两种。
(四)按工作原理分为:风淋式传递窗、普通传递窗、层流传递窗。
* 可选配件:对讲机、杀菌灯等相关功能配件
(风淋式传递窗)
(层流传递窗)
(普通传递窗)
03
CHD-11/12/13标准型传递窗
产品执行标准:
JG/T382-2012建筑工业传递窗行业标准
GB50073-2013洁净厂房设计规范
产品优势:
箱体选用优质SUS304不锈钢或钢板烤漆,光洁平整易清洁;
双门互锁,有效阻止交叉污染;
专用卫生级硅胶密封条,确保气密性;
配有紫外杀菌灯,满足GMP要求;
结构设计安全、安装简易,洁净室兼容性佳。
04
CHD-21/22/23洁净型传递窗
产品执行标准:
JG/T382-2012建筑工业传递窗行业标准
GB50073-2013洁净厂房设计规范
产品优势:
箱体选用优质SUS304不锈钢或钢板烤漆,光洁平整易清洁;
顶部送风,配有H14高效过滤器(99.995%~99.999%@0.3um),实现100级净化;
双门互锁,有效阻止交叉污染;
专用卫生级硅胶密封条,确保气密性;
配有紫外杀菌灯,满足GMP要求;
结构设计安全、安装简易,洁净室兼容性佳。
洁净室工艺设备防微振平台施工工法
1.引言
近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用,半导体晶片、TFT-LCD平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建,规模也在不断的扩大。随着各种高科技产业制程越来越精密,相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动,如检验设备SEM、SPM、TEM、曝光设备scanner、stepper、椭圆偏光仪等等,几乎每一台设备都需要安装隔振系统。正因为如此,洁净室工艺设备防微振平台施工显现的尤为重要。
2.工法特点
2.1 需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备,一般放置在洁净室内,施工作业时需要注意安全、清洁;本工法采用材料均为钢结构,不易产尘,从长期使用角度讲有利于洁净度的保持。
2.2 随着生产工艺的不断提高,生产设备对其基础的振动要求也越来越高,厂房内的活动地板已经不能满足,需要安装隔振系统。防微振动平台的设立,解决了这个问题。
2.3 由于平台与厂房内的活动地板是相隔开的,大大堵隔了除设备本身以外的其他振动,减少了环境振动对设备的影响,使得生产能够平稳高效的运行。因而防微振动平台也被形象得称为独立基础。
2.4 钢平台的施工相对其他平台而言,施工周期比较短,安装比较简单,能更早地使生产设备投入生产。拿混凝土平台做对比,其安装时间一般在4~6周,而钢平台的安装周期一般在2~3周,施工的时间上缩短了一半。而且钢平台在厂房内运输时为散件,无需整件运输,相对比较安全,减少更为复杂的安全保护措施。
3.适用范围
适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内,对基础有一定微振动要求的设备。
4.工艺原理
将平台设立在地面或者格栅板上,与原有的活动地板分离,使之不与活动地板相互传递振动,阻隔相邻设备所产生的防微振。通过自身的结构构造,将防微振动控制在振动规范或设备对基础的要求之内,能够独立吸收来自设备本身运作产生的振动的能量,避免洁净室建筑结构(比如楼板、梁等)所产生的防微振动对其产生影响。
5.施工工艺流程及操作方法
5.1施工工艺流程
施工前期准备→确定设备以及平台安装位置→平台加工→平台搬运及组装→平台试验
5.2操作方法
5.2.1施工前准备
施工前的准备工作尤为重要,他关系到后面的安装的精确程度。施工前对图纸进行认真解读和审核,防微振动平台一般采用不锈钢材料和镀锌材料制作。对加工件的要求很高,要求加工件精确到位,这样才能保证安装的一次性完成。