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洁净室MAU新风机组技术及常见故障分析

洁净室MAU新风机组技术及常见故障分析
一、MAU机组介绍
MAU(Make-up Air Unit)
称为新风机组(全外气空气处理机组)

工作原理:是在室外抽取新鲜的空气经过除尘、除湿(或加湿)、降温(或升温)等处理后通过风机送到室内,在进入室内空间时替换室内原有的空气。当然以上所提到的功能得根据使用环境的需求来定,功能越齐全造价越高。


组成:
MAU新风机组通常由风机、冷盘管、热盘管、空气过滤器(包括初级、中级、高级三级过滤)、加湿器等组成,通过这些设备对室外空气进行预处理,然后送入集压箱后送入室内,通过和FFU以及DCP冷盘管进行配合以保持室内空气的新鲜度和适宜的温度及湿度。

地位:净化空调箱是无尘室空调系统的核心。


◆满足FAB内人员对新风的需求;——Q1
◆补充排气风量;——Q2
◆维持FAB正压;——Q3
◆调节洁净室空气温湿度。
Image特点:MAU空调箱主要特点是处理风量大,并且由于外气在不同季节温湿度差异大,相应的能量、加湿量、风机静压都很大。若设备处理能量达不到设计要求将对室内温湿度、车间的压力产生较大影响。
通常MAU与FFU、DCC搭配组合来保证洁净室环境条件:
这种搭配(MAU+FFU+DCC)通常在洁净度要求较高的空调系统中才会使用。
二、各功能段参数简介
1.卷绕式过滤:大气尘计数效率:≥35%(≥5μm)
2.初效过滤:效率G4 大气尘计数效率:≥80%(≥5μm)
3.中效过滤:效率F8 大气尘计数效率:≥85%(≥1μm)
4.预热盘管:进风参数:tdb=1.7 °C 出风参数:tdb =28 °C
5.一级表冷:进风参数:tdb=38.7 °C,twb=29.1 °C 出风参数:tdb =17 °C,twb =16.5 °C
6.水洗加湿:淋水室加湿有效加湿量629kg/h(12万CMH),加湿介质 RO水 加湿效率≥95% 带挡水板 进/出风含湿量(g/kg)3.09/7.45
7.二级表冷:进风参数:tdb=17 °Ctwb=16.5 °C 出风参数:tdb =9.8 °C,tdb =9.4 °C
8.二级加热:进风参数:tdb=9.5 °C 出风参数:tdb =22°C
9.风  机 段:有关防微振要求的直联变频离心风机 送风量120,000m3/h 机组出口余压900Pa 风机效率80% 电机功率160kW 变频电机 风机自动变频

10.高效过滤:H13 W组合式 DOP效率: ≥99.97%(@0.3μm)


过滤段
在空调机组中,由不同过滤级别过滤器组成多级过滤系统,过滤器主要的作用是过滤室外空气的灰尘颗粒物、氮硫化物、VOC、AMC等有害有机挥发性化合物。
空气过滤器规格中的G,F,H,U是等级的划分,确切来说是根据欧标的等级划分。空气过滤器不同的国家有不同标准,我国国家标准分为初效过滤器中效过滤器高效过滤器三个等级,欧洲标准分为G、F、H、U四个等级。U是指超高效;H是普通高效;F是中效;G则对应的是初效。(如下图所示)
洁净室颗粒度标准
洁净室FFU的基础介绍
盘管段
各盘管的作用:
对空气/外气的加热、冷却、除湿用盘管来实现。其方式是通过铜管翅片与空气换热,进而对空气加热(或降温、除湿);因此盘管是处理机组的核心部件之一。
预热盘管:加热外气,提升外气温度;
预冷盘管:冷却外气,降低外气温度;
再冷盘管:降低空气的温度和湿度;
再热盘管:夏季深度除湿,送风温度过低时进行升温补偿;冬季外气温度较低,外气先经过预热再水洗加湿,新风温度略有降低,空气通过再热盘管升温控制送风温度,避免较低温度的空气送入洁净室。
风机段
风机段主要作用是提供动力,输送空气到房间。对于不同的送风量要求可以通过变频方式实现。
风机基座下部安装弹簧避震器,风机出风口安装帆布,起到缓震作用,变频电机带强冷散热风扇,独立接电源,防止电机降频后温度上升。
风机一般根据需求的风量和压力选型,空调箱用风机一般为双吸离心式风机,分前倾式和后倾式(包括翼截式)、直联式风机,一般总静压在750Pa以下采前倾式。
加湿段
常见的加湿器形式有:
1.水洗加湿器
2.高压微雾加湿器
3.湿膜加湿器
4.电极、电热加湿器
5.干蒸汽加湿器等
适用范围:
适用于大风量工况,加湿量大,系统可靠性与加湿洁净度要求较高的场合。在中大型MAU项目中广泛应用。
工作原理:  
空气流经前挡水板均流后进入喷淋室后流经喷水排管,与喷嘴中喷出的水滴相接触进行热湿交换,可同时实现加湿、水洗空气、调节空气温功能,被水清洗后,空气经后挡水板滤水流出。
优势亮点:
 对比其他加湿方式,喷淋加湿运行费用经济性显著。且过渡季节可不开启主机,仅使用喷淋实现温度调节。
水洗空气,减少空气中固体(灰尘或粉尘)的含量和有害气体(二氧化硫,硫化氢,氨类,苯类)的含量; 消除静电;
运行稳定性好,可靠性强,结构刚性好。

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