测试无尘工作台的相关要求及其步骤（二）

测试无尘工作台的相关要求及其步骤（二）

六，噪音 

干净工作台的噪声测量点应布置在工作台的中央，距工作台的前边缘20cm，高度为110cm（相当于操作员坐着的耳朵位置）。其他局部净化设备的噪声测量点应与设备主表面几何中心的水平距离为100cm，高度为150cm。建议在每一侧进行一次测量，并取四点的算术平均值。

 七，气流方式 

1）垂直气流测试 烟雾位于前窗内侧150毫米处，并以300毫米的高度从一个侧壁面板移动到另一侧壁面板操作区域。洁净工作台的垂直向下气流在分流板下方处于向下模式，并且没有向上气流。 烟雾位于前窗内部操作区域的1/2深度处，并以300mm的高度从一个侧壁板移动到另一个侧壁板操作区域。干净工作台的垂直下降流在分流板下方呈下降模式。向上的气流。 烟雾距离操作区域的后侧壁150mm，高度为300mm，从操作区域中的一个侧壁移动到另一侧壁。清洁工作台的垂直向下气流在分流板的下部处于向下模式，并且没有向上气流。 

 2）水平气流测试 烟雾位于前窗内部操作区域的1/2深度处，并以300mm的高度从一个侧壁板移动到另一个侧壁板操作区域。清洁工作台的水平气流在散流器孔前面处于向外模式。无内向气流。

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