洁净厂房的设计与施工-216-新型空气过滤器

随着科学技术的发展，尤其是超大规模集成电路生产技术的飞跃发展，在洁净室中除了要求控制微粒、微生物的浓度外，化学污染物或重金属物质对产品质量和人员健康的影响也日益受到关注。空气中能够危害产品生产质量、引起产品成品率降低的化学污染物质被称为“分子级污染物（AMC）”。空气中的AMC包括多种有害气体和金属离子，属于酸性AMC的化学腐蚀性气相物质有氟化氢（HF）、二氧化硫（SO）、氯化氢（HCl）、氮氧化物（NO.）等；碱性AMC主要有氨（NE）、甲胺（CHNH）等；可凝性AMC是指在常温常压下能在干净表面凝结的气相物质，如有机气体、碳氢化合物等；掺杂性AMC是指能够改变半导体材料性能的化学物质，如硼~（B）、磷（P）、钾（K）、钠（Na）、钙（Ca）和各种金属离子等。